该系列SPM控制机器采用全自动探针定位系统，具备皮米级运动精度，通过FPGA多通道信号同步采集技术，可搭配多种扫描探头与检测模块，实现从微观形貌到电学特性的多维表面分析，各项精度指标均达到国际水平。
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- CSM
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- HVS-A
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- 商品名称: SPM CONTROLLER PRO V1.0
- 产品大标题前台显示: SPM CONTROLLER
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- 产品副标题: 细致入微，大开眼界
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该系列SPM控制机器采用全自动探针定位系统，具备皮米级运动精度，通过FPGA多通道信号同步采集技术，可搭配多种扫描探头与检测模块，实现从微观形貌到电学特性的多维表面分析，各项精度指标均达到国际水平。
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